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目前，SOFC用固体电解质薄膜制备方法有电化学气相沉积法、化学气相沉积法、电泳沉积法、溅射法、等离子喷涂法等。
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Technological Parameters of TiN& Ion Sputter Coating Using Reaction Magnetron
反应磁控溅射离子镀TiN膜的工艺参数
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对采用MOCVD方法沉积的ZnO单晶薄膜的欧姆接触特性、光电特性进行了研究，并对比研究了射频溅射沉积SiO2抗反射膜对ZnO薄膜I-V、光电特性的影响。
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